電子工業用超純水設備是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備;是電子廠生產用超純水制備不可缺少的裝置。

1、電子工業用超純水設備工藝流程

電子工業用超純水設備的常用工藝流程有以下幾種：

（1）離子交換方式

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

（2）雙級反滲透方式

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透 →PH調節→中間水箱→二級反滲透→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

（3）EDI方式

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透主機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點 

超純水制造技術的發展極大地推動了半導體和電子工業的技術進度。同時半導體、電子工業的迅速發展促進了超純水制造技術和設備的發展。 

2、電子工業用超純水設備的應用領域

（1）半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水。

（2）超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水。

（3）實驗室和中試車間用超純水。

（4）汽車、家電表面拋光處理。

（5）光電子產品。

（6）其他高科技精微產品。